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高溫CVD係統

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高溫CVD係統

  • 所屬分類:cvd係統

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/01/19
  • 規格:
  • 類型:
  • 在線詢價
  • 詳細介紹

型號:BTF-1700C-CVD

設備特點:

 

此款1700℃高溫CVD係統,是由1700度管式爐、三路質量流量計係統以及國產高真空係統(或選配低真空係統)所組成。此設備主要用於:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界麵,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數,30段可編程溫控係統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。

 

 

 

 

 

 

 

加熱區參數

爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

加熱元件:矽鉬棒

加熱區長度:300mm
恒溫區長度:150mm
工作溫度:1550℃
高溫度:1650℃
控溫方式:模糊PID控製和自整定調節,智能化30段可編程控製,具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度:±1℃

推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

額定功率:5.2 KW

外型尺寸:610×440×720 mm

標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不鏽鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個;

密封係統:爐管兩端配有不鏽鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)

端口可按實際使用擴展。

 

 

 

 

 

 

 

氣路係統參數:

 

質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

準確度:±1.5%

線性:±0.51.5%

重複精度:±0.2%

響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差範圍:0.10.5 MPa

大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不鏽鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止閥:Φ6

連接頭類型:雙卡套不鏽鋼接頭。

可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計。

 

 

 

 

 

 

 

低真空係統參數:

 

國產油泵型號:BSV-10

抽速:10m³/h

極限真空度:5*10-1pa

電源:220v 50hz

電機功率:0.4kw  

進排氣連接口:KF25

用油量:1.1L

電機轉速:1440rpm

工作環境溫度:5-40℃

噪音:≤56db

電阻真空計參數:

1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

2.測量範圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.測量路數: 1路

4.控製範圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控製方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

采用波紋管手動擋板閥與真空係統相連接。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空係統參數:

 

空氣相對濕度:≤85%

工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

功率:1KW

係統整體極限真空度:10-5Pa

實驗真空度:10-3Pa

外形尺寸:850×600×650mm

機械泵:

抽氣速率:10m³/h

容油量:1.1L

電機功率:400W

極限壓強:6×10-2Pa

分子泵:

抽氣速率:100L/S

極限壓強:6×10-6Pa

啟動時間:<2min

額定轉速:4300轉/分

冷卻方式:環境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。

分子泵控製器:

電壓:220V±22V

啟動電流:≤7A

輸入頻率:47HZ—63HZ

大輸出功率:≤150W

大加速電壓:≤40V

加速時間:≤3min

頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

             低速430HZ±5HZ

複合真空計:

測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

工作模式:手動/自動

電阻單元參數

規管型號:ZJ-52T電阻規

測量範圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效範圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控製範圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數

規管型號:ZJ-27電離規

可測範圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效範圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控製範圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

規管除氣方式:焦耳去氣

其他參數

控製路數:4路

控製方式:點動或區域控製/帶掉電記憶

控製精度:±1%

采樣時間:1S

電源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用環境溫度:0℃~45℃

濕度:≤85%

連接管路:

采用全不鏽鋼,電拋光製作,零件焊接漏率優於1.0×10-9Pa.m3/s

采用波紋管手動擋板閥與真空係統相連接。

 

 

 備注:

 

可根據工藝要求選配低真空或高真空係統。


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